Для покупателей из Москвы возможна доставка заказа курьером в удобное время.
При покупке от 1500 рублей услуга предоставляется бесплатно.

06. 2018 16:41:00

Труды ФТИАН.Т27.Квантовые компьютеры, микро-и наноэлектроника: физика, технология, ,диагностика и моделирование.

  • Издательство: М.: Наука
  • ISBN: 978-5-02-040089-4
  • Год: 2018
  • Колич. страниц: 138
  • Тираж: 150

СТОИМОСТЬ: 396 руб.

КУПИТЬ КНИГУ

Описание книги:

Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11—32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменного нано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся результаты в области микроструктурирования пористых low-k диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Большинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России. Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.