А. Д. Ахсахалян, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, А. Н. Нечай, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, М. Н. Торопов, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, А. В. Щербаков
Состояние дел и перспективы развития многослойной рентгеновской оптики в ИФМ РАН



Благодаря современным успехам в области напыления многослойных зеркал и технологии изготовления сверхгладких и сверхточных подложек для зеркал появилась реальная возможность использовать традиционные оптические методы в диапазонах мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового излучения. Реализация этой возможности откроет принципиально новые перспективы в нанодиагностике вещества, в микро- и наноэлектронике, микробиологии, астрономии и в других приложениях. Представлены основные направления в области многослойной рентгеновской оптики, развиваемые в ИФМ РАН, и рассмотрены аспекты ее применения в науке и технике. Обсуждаются основные проблемы, возникающие при изготовлении многослойных интерференционных структур для диапазонов мягкого рентгена и экстремального ультрафиолета. Приводятся основные результаты, полученные в последнее время в рамках каждого направления. Обсуждаются планы развития направлений на ближайшее будущее.
Ключевые слова: рентгеновская оптика, диапазоны мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового излучения, многослойные интерференционные структуры, свободновисящие пленки, кластерные пучки.